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OLED制造设备
CMD系列
使用SiH4和TEOS成膜a-Si膜,氧化硅膜和氮化物膜的单晶片CVD系统。
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超大尺寸屏幕制造设备
SMD系列
SMD系列用于形成金属膜,ITO,IGZO,电介质膜等单晶片型溅射设备,具有超过1,000台的交付经验,可以在各种生产环境中稳定运行。
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触摸屏制造设备
CCV系列
用于a-Si膜形成的垂直CVD系统。 拥有超过30年的大规模生产经验。 在各个室中,以低沉积速率形成膜,可以获得意想不到的高品质。
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薄膜太阳能制造设备
SCH系列
用于形成透明导电膜,金属膜等的水平直列式溅射设备。 应用于太阳能电池生产线的背面电极膜,绝缘膜等各种成膜工序。
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薄膜电容器制造设备
EW系列
对塑料、纸张,金属箔等材料进行连续卷绕,同时对其进行沉积金属,氧化物等的成膜设备。 提供包装材料,电容器,磁带和各类应用的兼容型号,涵盖了从小型实验机器到批量生产设备。
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